教授

山本達

准教授

江島丈雄

助教

羽多野忠

放射光X 線による機能材料科学の革新

本研究分野は、最先端放射光X 線を用いて材料の機能発現 メカニズムを解明し、新機能性材料の設計指針を確立す ることを目標としています。この目標を実現するために、 NanoTerasu をはじめとする最先端X 線光源の特性を活かすた めの光学素子・光学技術・新規計測法の開発を行っています。 特に最近では、触媒や電池などの材料が動作している最中を 直接計測可能な「オペランド（動作中）」計測法の開発に 力を入れています。また、私達が独自に開発を行ってきた多層 膜ミラーなどの軟X 線光学素子を次世代半導体微細露光機や 軟X 線顕微鏡に応用する研究を行っています。

研究テーマ

• 3 GeV 高輝度放射光施設NanoTerasu の利活用
• X 線オペランド計測法の開発及び機能材料への応用
• 次世代半導体微細露光機用軟X 線光学素子の開発
• 次世代半導体素子の軟X 線顕微鏡への応用