研究室概要

放射光X 線による機能材料科学の革新

本研究分野は、最先端放射光X 線を用いて材料の機能発現
メカニズムを解明し、新機能性材料の設計指針を確立す
ることを目標としています。この目標を実現するために、
NanoTerasu をはじめとする最先端X 線光源の特性を活かすた
めの光学素子・光学技術・新規計測法の開発を行っています。
特に最近では、触媒や電池などの材料が動作している最中を
直接計測可能な「オペランド（動作中）」計測法の開発に
力を入れています。また、私達が独自に開発を行ってきた多層
膜ミラーなどの軟X 線光学素子を次世代半導体微細露光機や
軟X 線顕微鏡に応用する研究を行っています。

研究テーマ

<li>3 GeV 高輝度放射光施設NanoTerasu の利活用</li><li>X 線オペランド計測法の開発及び機能材料への応用</li><li>次世代半導体微細露光機用軟X 線光学素子の開発</li><li>次世代半導体素子の軟X 線顕微鏡への応用</li>