高桑雄二
教授
小川修一
助教
Keywords
  • 表面物理学
  • 材料科学
  • プロセス工学
  • 電子と光をプローブとする表面計測法の開発

担当専攻 院工 ファインメカニクス専攻 表面ナノ物理計測制御講座
Web Site http://www2.tagen.tohoku.ac.jp/lab/takakuwa/

表面反応機構に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセス開発

電子と光をプローブとする新しい表面計測法の開発と応用を基本方針として右図に示すように、それらを用いて解明された表面・界面反応機構に基づいた機能性薄膜の創製と、表面ナノプロセスの開発を行っております。開発に取り組んでいるオージェ電子分光と希ガス共鳴線を用いる光電子分光では表面情報を相補的に「複合計測」や、反応キネティクスを追跡できる「リアルタイム観察」、反応ガス雰囲気中での「プロセス中の『その場』観察」ができることを特徴としています。固体表面・界面での化学・固相反応過程を制御することにより、ダイヤモンド、多層グラフェン、ダイヤモンドライクカーボンなどの炭素材料の創製や、ニッケル・チタンなど触媒金属表面での反応過程の解明、そして表面平坦化のための光電子制御プラズマイオン源などの表面ナノプロセスの開発を展開しています。

研究テーマ

©IMRAM Tohoku University